Unidad de funcionalización y tratamientos térmicos superficiales mediante láseres de pulsos ultracortos e interferencia

DESCRIPCIÓN

La unidad de funcionalización está formada por dos láseres que dan un servicio conjunto de procesos con láseres de femtosegundos:
1. Un láser Coherent Libra HE integrado en una estación de mecanizado de 3 ejes. Puede usar pulsos ultracortos de longitud de onda 800nm, 400nm y 266nm.
2. Un láser Amplitude Satsuma integrado en una estación de 3 ejes y scanner, para sumar un total de 5 ejes. Puede usar pulsos ultracortos de 1030nm y 515nm.

Se disponen de tres diferentes sistemas de gestión de haz para enviar el láser a la muestra con las condiciones deseadas:
1. Un sistema basado en mesas XYZ con objetivos de microscopio intercambiables.
2. Un sistema galvanométrico especialmente adaptado para láseres ultrarrápidos.
3. Un sistema de interferencia de múltiple haz para definir geometrías de menor tamaño que la longitud de onda.
La unidad se encuentra en un ambiente limpio compatible con procesos microelectrónicos de sala limpia.

Además, se cuenta con capacidad de hacer procesos láser en atmósferas controladas de gases inertes.