Equipo DualBeam QUANTA3DFEG de FEI. Dispone de un microscopio electrónico de barrido de alta resolución (~1nm) y de un cañón de iones de Galio que permite la deposición y ablación de material. Además, se ha desarrollado un software para análisis de imágenes que permite resolver las tensiones residuales a partir de las imágenes obtenidas de FEGSEM en un rango de escalas desde 1 um hasta 800 um y unas 0.5 - 50 um de profundidad.
Medición de la tensión residual perfilada en so
Medida de la distribución de tensiones residuale
Medida de perfiles de tensiones en profundidad de
CEIT
Harremanetarako pertsona: Jon Alkorta
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