Funtzionalizazio-unitatea eta gainazaleko tratamendu termikoak ultramotz pultsulaserren eta interferentziaren bidez

AZALPENA

Funtzionalizazio-unitatea bi laserrek osatzen dute, eta horiek prozesu-zerbitzu bateratua ematen dute femtosegundoko laserrekin:
1. Coherent Libra laser bat 3 ardatzeko mekanizazio-estazio batean integratuta. Uhin luzera 800 nm, 400 nm eta 266 nm duten ultramotz pultsuak erabil ditzake.
2. Satsuma Amplitude laser bat 3 ardatzeko estazio eta scanner batean integratuta, 5 ardatz gehitzeko guztira. 1030 nm eta 515 nm-ko ultramotz pultsuak erabil ditzake.

Hiru sorta kudeatzeko sistema daude laserra laginera bidaltzeko nahi diren baldintzekin:
1. XYZ mahaietan oinarritutako sistema bat, mikroskopio leiar trukagarriekin.
2. Laser ultralasterretarako bereziki egokitutako sistema galvanometrikoa.
3. Sorta-aniztun interferentzia-sistema bat uhin-luzera baino txikiagoak diren geometriak definitzeko.
Unitatea giro garbi batean dago, gela garbiko prozesu mikroelektronikoekin bateragarria.
Gainera, gas geldoen atmosfera kontrolatuetan laser prozesuak egiteko gaitasuna du.